在入口真空度要求為20~1X10-3Torr的范圍內(nèi)，相對(duì)于小容量的干式螺桿真空泵，采用大容量羅茨增壓泵+小容量干式螺桿真空泵串聯(lián)的形式，比單臺(tái)大容量干式螺桿真空泵運(yùn)行產(chǎn)生的費(fèi)用更少，同時(shí)更能保證真空系統(tǒng)的穩(wěn)定。干式羅茨螺桿真空機(jī)組在抽氣速率600~9000m3/Hr的范圍內(nèi)，均能保證有效的工作真空度。另外，由于真空系統(tǒng)為無水無油系統(tǒng)，所以完全沒有廢油和廢水產(chǎn)生，更加節(jié)能環(huán)保。由于前級(jí)干式螺桿真空泵的抽氣速率（2~13m3/min）的限定，所以如果抽氣速率大或者要求高真空的情況下，推薦選用干式羅茨螺桿真空機(jī)組。

       下圖為某項(xiàng)目P&ID系統(tǒng)圖示例：